廣科智能擁有大量二手SANKYO三協(xié)真空機器人，型號齊全，如：SR8651、SR8652、SR8670、SR9142、SR9152……歡迎全國各地理工機電學(xué)院、工廠(chǎng)采購、工業(yè)機器人培訓機構來(lái)電咨詢(xún)，價(jià)格實(shí)惠。三協(xié)真空機器人可以在10-7 pa的真空環(huán)境下運行。耐高溫達200℃。此系列真空機器人大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。 

真空機器人是一種能夠在真空環(huán)境下工作的機器人，主要應用于半導體和液晶工業(yè)中，實(shí)現晶圓或玻璃基板在真空腔室內的運輸。真空搬運機器人由于不使用氣體真空吸附系統和氣缸等，因此搬運時(shí)保持晶圓在機器手上的穩定比較困難。因此，此前只能以150～200枚/時(shí)的速度搬運晶圓。此次，通過(guò)改進(jìn)保持晶圓穩定的真空內的夾具，即使高速搬運，機器手上的晶圓也不會(huì )錯位。這樣，可最大限度發(fā)揮真空機器人的搬運速度。

 

三協(xié)雙臂真空搬運機器人


三協(xié)雙臂真空搬運機器人SR8651參數： 

真空度(Pa)：1.33×10-2；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2400；

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜)：250/450；

可動(dòng)范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

最大速度「RR/RL軸」(㎜/sec）：3370；

最大速度「Z 軸」(㎜/s)：300；

最大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

最大速度「重復精度」(㎜)：+/-0.2

最大速度「噪音」(dB)：80 or less

最大速度「基板尺寸」(㎜)：～1100×1300 t=3.1～5.2/～1300×1500 t=0.5～1.1/～1500×925 t=0.5～1.1

 

三協(xié)雙臂真空搬運機器人SR8652參數：

真空度：1.33×10-2；

自由度：5-AXIS(all AC-servo controlled)；

動(dòng)作范圍「RR/RL 軸」(㎜)：2720；

動(dòng)作范圍「Z 軸」(㎜)：465(Solar)/670(LCD)；

動(dòng)作范圍「θ軸」(deg)：+140～-185；

最大速度「RR/RL 軸」(㎜/sec)：2474；

最大速度「Z 軸」(㎜/s)：400；

最大速度「θ軸」(rads/s)：2.09；

最大速度「重復精度」(㎜)：+/-0.2；

最大速度「噪音」(dB)：80 or less；

最大速度「基板尺寸」(㎜)：1100×1300 t=4～5(Solar)；

最大速度「基板尺寸」(㎜)：～1500×1850 t=0.5～1.1(LCD)